接合装置用加热器及其冷却方法

摘要

本发明之课题在于更有效地使接合装置用加热器冷却。平板形的接合装置用加热器30具有供接合工具40安装之下表面31b、及供隔热材20安装之上表面31a，且于上表面31a上设有多数毛细狭缝35，多数毛细狭缝35与安装于上表面31a上之隔热材20的对准面21形成自空穴36延伸至侧面33的多数毛细冷却流路37。