磊晶成长装置

摘要

藉晶圆之面内温度分布的均匀化来提高磊晶层之层厚的均匀性，而且抑制副产生物对室的附着。磊晶成长装置系包括：室，系收容晶圆；基座，系在室内支撑晶圆；上部灯群，系由在室之上方排列成环状的复数个加热灯所构成；下部灯群，系由设置于室之下方的复数个加热灯所构成；大致圆筒状之反射构件，系在室之上方设置于上部灯群之环的内侧；及追加反射构件，系位于晶圆的上方并设置于反射构件的内侧，具有与晶圆平行的反射面；追加反射构件设置成塞住反射构件之下端部的开口。