介电体窗、天线、以及电浆处理装置

摘要

提供一种介电体窗、天线以及电浆处理装置，可改善电浆之面内均匀性。;于介电体窗16之一面侧配置狭缝板20。于介电体窗16之另一面具备有：被环状之第1凹部147所包围之平坦面、以及在第1凹部147之底面所形成之复数第2凹部153(153a~153g)。本发明之天线具备有：介电体窗16、以及设置于介电体窗16之一面的狭缝板20，此可适用于电浆处理装置。