| 发明名称 |
质量狭缝组件、离子布植机及其操作方法;MASS SLIT MODULE, ION IMPLANTER, OPERATING METHOD FOR THE SAME |
| 摘要 |
一种质量狭缝组件、离子布植机及其操作方法。质量狭缝组件包括第一狭缝板与第二狭缝板。第一狭缝板包括母部分与子部分。子部分系可卸除地卡设于母部分的外缘侧。第一狭缝板之子部分的外表面与第二狭缝板的外表面系相对以定义出狭缝通口。 |
| 申请公布号 |
TW201535460 |
申请公布日期 |
2015.09.16 |
| 申请号 |
TW103107347 |
申请日期 |
2014.03.05 |
| 申请人 |
联华电子股份有限公司 UNITED MICROELECTRONICS CORP. |
发明人 |
洪煜宜 HUNG, YU I |
| 分类号 |
H01J37/30(2006.01);H01J37/317(2006.01) |
主分类号 |
H01J37/30(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
祁明辉林素华涂绮玲 |
| 主权项 |
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| 地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 TW |
