反应方法及其装置

摘要

一种反应方法及其装置，主要是藉由在一密闭腔室内盛装可导电超临界流体，配合通电作用，使得可导电超临界流体成为带电荷超临界流体，并适时搭配照光单元引入紫外线光或雷射光，或输入化学反应气体之运作，因而能产生三种功效：(1)利用带电荷超临界流体以溶解并去除材料表面或内部杂质，使得材料优化；(2)该密闭腔室也可以作为气相化学反应腔，高分子聚合或化学气相沉积在低温条件就可进行反应；(3)在紫外线光或雷射光的照射下，可使材料的熟化或纯化、优化过程在低温条件下就可以进行，缩短反应时间且使均匀度增加。