一种矢量磁传感器阵列及其制作方法

摘要

一种矢量磁传感器阵列及其制作方法，包括多个磁敏矢量传感器、驱动芯片，控制电路及PCB电路板，磁敏矢量传感器与所述驱动芯片连接，磁敏矢量传感器与驱动芯片位于所述PCB电路板的顶层，控制电路被设计为对所述驱动芯片进行参数配置和数据的读取，并通过RS-232串口工作方式传输数据给上位机，控制电路位于所述PCB电路板的底层，与驱动电路通过过孔连接。该矢量磁传感器阵列通过定位模具辅助焊接，保证了X方向、Y方向、Z方向磁敏电感的位置精度和正交性，具有良好的位移测量精度。电路结构紧凑，体积小，功耗低，易于规模集成，制作方法简单，实用性强。

主权项

一种矢量磁传感器阵列，包括多个磁敏矢量传感器(1)、驱动模块(2)，控制模块(3)、PCB电路板(4)，所述磁敏矢量传感器(1)与所述驱动模块(2)连接，磁敏矢量传感器(1)与驱动模块(2)位于所述PCB电路板(4)的顶层；所述控制模块(3)用于对驱动模块(2)进行参数配置和数据的读取，并通过RS‑232串口工作方式传输数据给上位机，控制模块(3)位于PCB电路板(4)的底层，与驱动模块(2)通过过孔连接，其特征在于，所述磁敏矢量传感器(1)由X方向、Y方向、Z方向正交排布的三个磁敏电感组成；所述X方向磁敏电感(5)构成一个的传感阵列，电感中心间距的位置误差小于+/‑0.1mm；所述Y方向磁敏电感(6)构成一个的传感阵列，电感中心间距的位置误差小于+/‑0.1mm；所述Z方向磁敏电感(7)构成一个的传感阵列，电感中心间距的位置误差小于+/‑0.1mm。