发明名称 TEM原位观察材料基体/钝化膜界面结构的样品制备方法
摘要 本发明提供了一种TEM原位观察材料基体/钝化膜界面结构的样品制备方法,其包括:第一步,金相制样;第二步,离子溅射减薄;第三步,腐蚀金属试样,获得样品。本发明提供的TEM原位观察材料基体/钝化膜界面的样品制备方法,既避免了传统TEM制样方法对界面附近钝化膜的破坏作用,又解决了采用聚焦离子束制样操作复杂,成功率低的问题。
申请公布号 CN104913957A 申请公布日期 2015.09.16
申请号 CN201410574975.5 申请日期 2015.05.04
申请人 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院 发明人 屈定荣;蒋秀;刘小辉
分类号 G01N1/28(2006.01)I;G01N1/32(2006.01)I;G01N1/34(2006.01)I;G01Q30/20(2010.01)I 主分类号 G01N1/28(2006.01)I
代理机构 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人 汤东凤
主权项 一种TEM原位观察材料基体/钝化膜界面结构的样品制备方法,其特征在于,包括:第一步,金相制样;第二步,离子溅射减薄;第三步,腐蚀金属试样,获得样品。
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