发明名称 |
TEM原位观察材料基体/钝化膜界面结构的样品制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种TEM原位观察材料基体/钝化膜界面结构的样品制备方法,其包括:第一步,金相制样;第二步,离子溅射减薄;第三步,腐蚀金属试样,获得样品。本发明提供的TEM原位观察材料基体/钝化膜界面的样品制备方法,既避免了传统TEM制样方法对界面附近钝化膜的破坏作用,又解决了采用聚焦离子束制样操作复杂,成功率低的问题。 |
申请公布号 |
CN104913957A |
申请公布日期 |
2015.09.16 |
申请号 |
CN201410574975.5 |
申请日期 |
2015.05.04 |
申请人 |
中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院 |
发明人 |
屈定荣;蒋秀;刘小辉 |
分类号 |
G01N1/28(2006.01)I;G01N1/32(2006.01)I;G01N1/34(2006.01)I;G01Q30/20(2010.01)I |
主分类号 |
G01N1/28(2006.01)I |
代理机构 |
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 |
代理人 |
汤东凤 |
主权项 |
一种TEM原位观察材料基体/钝化膜界面结构的样品制备方法,其特征在于,包括:第一步,金相制样;第二步,离子溅射减薄;第三步,腐蚀金属试样,获得样品。 |
地址 |
100728 北京市朝阳区朝阳门大街22号 |