一种利用离子溅射镀膜电路的漏液检测传感器及其制造工艺

摘要

本发明涉及一种利用离子溅射镀膜电路的漏液检测传感器的制造工艺，采用耐热和耐腐蚀材料作为基底薄膜，在其上表面用离子溅射镀膜工艺形成绝缘物质涂层，在绝缘涂层上采用离子溅射镀膜方式制作两双传导线路；绝缘涂层上表面设置相互贴合的粘贴层与保护膜层；若在基底薄膜或绝缘涂层整体表面形成均匀的可导电薄膜，另外覆盖遮蔽胶带后进行镀膜，离子溅射镀膜过程后，去除遮蔽胶带即可形成传导线路；制成液体泄漏检测装置。本发明有益效果为：可防止因各种液体或湿气导致传导线路发生腐蚀，可准确检测可导电液体泄漏，最小化误报的发生；提高漏液检测装置的可靠性；有利于提高薄膜层间的贴合力，减少上层保护膜层剥离的可能性，降低产品不良率。

主权项

一种利用离子溅射镀膜电路的漏液检测传感器的制造工艺，其特征在于，由以下步骤组成：⑴采用PI、PET、PO或PTFE耐热和耐腐蚀材料作为基底薄膜，在其上表面用离子溅射镀膜工艺形成绝缘物质涂层来提高绝缘阻抗，然后在上述绝缘涂层上采用离子溅射镀膜方式制作两双传导线路，使其按一定的间距以平行线的方式排列构成；⑵绝缘涂层上表面设置相互贴合的粘贴层与保护膜层，保护膜层使用PI、PET、PO、PTFE或PO耐热和耐腐蚀的薄膜材料，传导线路相应的保护膜层位置上按一定的间距设有感应孔；⑶为形成传导线路或层叠结构的传导线路，在真空腔内放置靶材和基底薄膜进行离子溅射镀膜制程，靶材采用导电性能好的金属材料，层叠结构的最外层传导线路采用耐腐蚀性能的可导电材料；⑷以上的传导线路的成型方式为，靶材通过电极供应负直流电压，基底薄膜通过电极供应正直流电压，在真空腔内通入氩气惰性气体，等离子状态的高能量氩离子撞击靶材表面，靶材原子飞溅到基底薄膜层表面沉积形成导电线路，过剩物质由真空泵排出腔体，以上工序可连续运转完成；⑸若在基底薄膜或绝缘涂层整体表面形成均匀的可导电薄膜，则在基底薄膜或绝缘涂层上表面需要另外覆盖遮蔽胶带后进行镀膜，靶材原子将沉积于遮蔽胶带缕空部位，离子溅射镀膜过程后，去除遮蔽胶带即可形成传导线路；⑹所形成的传导线路以金属为靶材采用离子溅射镀膜方式制成液体泄漏检测装置。