| 摘要 |
<p>기판 이송시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송시스템은, 적어도 일 영역이 진공챔버 내의 상부 영역에 배치되어 기판을 픽 업/다운(pick up/down) 구동시키는 기판 픽 업/다운장치; 및 기판이 어느 방향으로 투입되더라도 물류를 구성할 수 있도록 기판을 턴(turn) 동작시키는 부분은 진공챔버 내에서 기판 픽 업/다운장치의 하부 영역에 배치되어 기판 픽 업/다운장치와 상호작용하고, 나머지 부분들은 진공챔버의 외부에 배치되는 기판 턴장치를 포함한다.</p> |
