用于检测基板之边缘部之设备;APPARATUS FOR INSPECTING EDGE PORTION OF SUBSTRATE

摘要

一种用于检测基板之边缘部之设备，其可检测基板之边缘部上的缺陷或倒角宽度。第一直角棱镜及第二直角棱镜系设置在边缘部之上及之下，使得其倾斜表面直接面向边缘部之上表面及下表面。照明部以光照射基板之边缘部。照射部设置成与边缘部相邻。照相部自通过第一直角棱镜的光拍摄边缘部之上表面的影像、自通过第二直角棱镜的光拍摄边缘部之下表面的影像以及拍摄边缘部之端部表面的影像。