延伸的前驱物气体注入方法;EXTENDED PRECURSOR GAS INJECTION METHOD

摘要

本揭露内容的实施例系关于在线内处理工具中的处理腔室内将前驱物通过线性电浆源而传送。在本揭露内容的一个实施例中，相较于第一处理气体被引入至喷嘴出气口(第二处理气体被引入喷嘴出气口)的位置，第一处理气体被引入至更接近基板平面的位置，其中有处理(例如介电薄膜的沉积)系欲发生于基板平面上。