静电夹头清洗夹具;ELECTROSTATIC CHUCK CLEANING FIXTURE

摘要

一种用于在清洁制程期间保护适用于支撑半导体基板之静电夹头的清洁夹具组件包含一板件，该板件系配置为与静电夹头的背侧对准并与其接合，该板件具有围绕一容室的环状密封部。该清洁夹具组件亦包含：第一O形环，与该板件之环状密封部接合；复数个通孔，位在该板件之容室中；及复数个O形环，围绕该板件之容室中的复数个通孔。复数个通孔系配置为与静电夹头之背侧中的升降销孔洞及氦孔洞对准并且流体连通，且复数个O形环系被定位，以允许清洁介质在清洁制程期间接合静电夹头中的升降销孔洞及氦孔洞，同时将清洁介质密封以免其到达静电夹头的背侧。