| 摘要 |
【課題】ガス循環型のオゾン液生成装置において、オゾン液濃度がガス非循環型のオゾン液生成装置に比べて変わらない程度に低下した定常状態になることを回避し得るオゾン液生成装置を提供する。【解決手段】気液分離器（２０Ａ）の内部の液位が、設定された下限液位以上であるか否かを検出する下限液位検出センサ（２６）と、第４経路（４）の開閉が可能な循環弁（１５）と、下限液位検出センサ（２６）による気液分離器（２０Ａ）の内部の液位が設定された下限液位以上であるか否かの検出に応じて、循環弁（１５）を開閉制御する循環弁制御部（１６Ａ）とが設けられている。【選択図】図１ |
