工件的缺陷检测装置

摘要

本发明的目的在于提供提高包含曲面的工件外周面的缺陷的检测精度的技术。缺陷检测装置(1)检测存在于外周面形成为曲面的工件(W)的外周面的缺陷(D)。缺陷检测装置(1)包括：支承工件(W)并且将其保持为旋转至预定角度的状态的夹具(10)；拍摄被夹具(10)保持为旋转至预定角度的状态的工件(W)的外周面的拍摄装置(20)；以及处理通过拍摄装置(20)得到的图像并判定缺陷的控制装置(30)。控制装置(30)存储有与工件(W)的外周面的形状相关的信息、以及与各旋转角度下的拍摄装置(20)对工件(W)的拍摄部位和拍摄装置(20)的位置关系相关的信息，并在对缺陷(D)进行判定时使用上述信息。

主权项

一种工件的缺陷检测装置，其检测存在于工件的外周面上的缺陷，并包括：夹具，所述夹具支承所述工件，并且将所述工件保持为旋转至预定角度的状态；拍摄装置，所述拍摄装置拍摄被所述夹具保持为旋转至预定角度的状态的工件的外周面；以及控制装置，所述控制装置处理通过所述拍摄装置得到的图像，并对缺陷进行判定，所述控制装置存储有与所述工件的外周面的形状相关的信息、以及与各旋转角度下的所述拍摄装置对工件的拍摄部位和所述拍摄装置的位置关系相关的信息，并且所述控制装置在对所述缺陷进行判定时，通过比较预先存储的阈值和通过所述拍摄装置得到的图像中所包含的缺陷的长度方向上的大小来对所述缺陷进行判定，使用与所述工件的外周面的形状相关的信息、以及与各旋转角度下的所述拍摄装置对工件的拍摄部位和所述拍摄装置的位置关系相关的信息，根据所述缺陷的位置、以及在工件的各旋转角度下由工件的外周面的形状引起的图像失真来改变在进行所述缺陷的判定时使用的阈值。