一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工装置

摘要

一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工装置，本发明属于精密光学零件加工的技术领域。它的加工电感耦合等离子体炬和火抛光电感耦合等离子体炬都安装在双炬连接组件上；加工电感耦合等离子体炬通入的工作气体为含氟气体，具有去除效果；火抛光电感耦合等离子体炬通入的气体为不含氟气体，无去除效果；使火抛光电感耦合等离子体炬的火抛光电感耦合等离子体炬作用区位于加工电感耦合等离子体炬的加工电感耦合等离子体炬作用区运动方向前侧。本发明在对光学镜片加工时，使用火抛光电感耦合等离子体炬预处理，不会产生波纹度误差，部分修复微裂纹，进而使用大气等离子体加工，避免了等离子体加工损伤打开的效果，实现了高质量的光学加工。

主权项

一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工装置，其特征在于它包括加工电感耦合等离子体炬（1）、火抛光电感耦合等离子体炬（2）、双炬连接组件（3）；加工电感耦合等离子体炬（1）和火抛光电感耦合等离子体炬（2）都安装在双炬连接组件（3）上；加工电感耦合等离子体炬（1）的结构与火抛光电感耦合等离子体炬（2）的结构相同，加工电感耦合等离子体炬（1）通入的工作气体为含氟气体，具有去除效果；火抛光电感耦合等离子体炬（2）通入的气体为不含氟气体，无去除效果；使火抛光电感耦合等离子体炬（2）的火抛光电感耦合等离子体炬作用区（2‑1）和加工电感耦合等离子体炬（1）的加工电感耦合等离子体炬作用区（1‑1）都处在被加工件（4）的上端面上，并使火抛光电感耦合等离子体炬（2）的火抛光电感耦合等离子体炬作用区（2‑1）位于加工电感耦合等离子体炬（1）的加工电感耦合等离子体炬作用区（1‑1）运动方向前侧。