一种常压高压协同射频辉光射流放电的装置及其放电方法

摘要

本发明公开了一种常压高压协同射频辉光射流放电的装置及其放点方法。所述装置包括放电管体，放电管体上依次设有第一组电极、共同电极、第二组电极三组电极，第一组电极接高压源、共同电极接地，第二组电极接射频源。放电方法为：将反应气体通入介质阻挡从进气口进入放电管体中，利用高压辅助射频放电产生等离子体射流；先通过高压介质阻挡辉光放电，利用其产生的等离子体中的电子、离子以及激发态粒子来帮助射频介质阻挡辉光放电起辉，降低射频放电的起辉电压。本发明先通过高压源电极组放电起辉，利用其产生的等离子体来辅助常压射频放电起辉，可以得到高密度、高活性、气体温度可控的常压射流等离子体放电。

主权项

一种常压高压协同射频辉光射流放电的装置，其特征在于，包括放电管体(1)，放电管体(1)上依次设有第一组电极(2)、共同电极(3)、第二组电极(4)三组电极，第一组电极(2)接高压源、共同电极(3)接地，第二组电极(4)接射频源。