发明名称 |
用于太阳能模块的镀覆电接触件 |
摘要 |
本发明涉及一种用于制造太阳能模块上的电接触件的镀覆方法,其中通过电镀将太阳能模块中的硅太阳能电池之间的布线沉积到导电种子上。各个单独的硅太阳能电池之间的布线包括布线加固柱,其改进了所述布线的可靠性。 |
申请公布号 |
CN104919602A |
申请公布日期 |
2015.09.16 |
申请号 |
CN201380070762.2 |
申请日期 |
2013.12.16 |
申请人 |
安美特德国有限公司 |
发明人 |
T.福斯;S.兰普雷希特 |
分类号 |
H01L31/05(2014.01)I;H01L23/538(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/05(2014.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
申屠伟进;刘春元 |
主权项 |
一种用于制造太阳能模块上的电接触件的镀覆方法,所述方法包括依照以下顺序的步骤:(i)提供安放到支持基板上的硅太阳能电池的阵列,各个硅太阳能电池彼此分开一定水平间隔,并且具有在每一个硅太阳能电池上包括至少一个接触区域的暴露表面;(ii)将镀覆抗阻剂沉积到所述硅太阳能电池阵列的暴露表面上以及太阳能电池之间的水平间隔上;(iii)在镀覆抗阻剂中形成开口,并且因此暴露出每一个硅太阳能电池上的所述至少一个接触区域以及硅太阳能电池之间的水平间隔的至少一部分;(iv)在镀覆抗阻剂以及步骤(iii)中形成的开口上面形成导电种子层;(v)在导电种子层上面形成铜或铜合金层;以及(vi)对铜或铜合金层和导电种子层的一些部分进行回蚀,所述回蚀足以从镀覆抗阻剂去除铜或铜合金层和导电种子层全部二者,从而留下在步骤(iii)中形成的开口中的铜或铜合金层,并且因此形成硅太阳能电池之间的布线以及电线加固柱。 |
地址 |
德国柏林 |