微影系统;LITHOGRAPHIC SYSTEM

摘要

一种微影系统，其包含：一微影装置，其具有一尺寸比例改变投影系统；及一辐射源，其经组态以在一电浆形成部位处产生一EUV辐射发射电浆，该EUV辐射发射电浆在实质上垂直于该辐射源之一光轴之一平面中具有一狭长形式。