剥离装置及剥离方法;DETACHING APPARATUS AND DETACHING METHOD

摘要

本发明之剥离方法系使彼此密接之2片板状体良好且稳定地剥离而离开。;本发明之剥离方法包括如下步骤：藉由上游侧吸附部使第2板状体之被吸附部位自第1板状体剥离而向剥离推进方向推进第2板状体之剥离；使下游侧吸附部于剥离推进方向上之被吸附部位之下游侧，向第2板状体中之藉由上游侧剥离器件而剥离之剥离部位之反密接面移动；于剥离部位向反密接面移动中，监控下游侧吸附部相对于第2板状体之反密接面之相对位置；基于与相对位置相关之位置资讯，调整开始利用下游侧吸附部进行之第2板状体之吸附之时序；及与利用下游侧吸附部进行之第2板状体之吸附开始同时或于吸附开始后，按照藉由下游侧吸附部吸附剥离部位之反密接面之状态使下游侧吸附部自保持器件离开而向剥离推进方向推进第2板状体之剥离。