Carrier

摘要

캐리어가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어는, 다수의 기판이 장착되는 서브 캐리어(Sub Carrier); 및 서브 캐리어가 착탈 가능하게 결합되는 메인 캐리어(Main Carrier)를 포함한다.