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发明名称 Apparatus for loading substrate
摘要 <p>기판 로딩장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 로딩장치는, 캐리어(Carrier) 상에 장착될 다수의 기판이 적재되는 기판 적재용 카세트를 카세트 로딩위치로 이송시키는 카세트 로딩 유닛; 및 카세트 로딩 유닛에 이웃하게 배치되며, 기판 적재용 카세트 내의 기판을 순차적으로 인출하여 기판 로딩위치로 이송시키는 기판 트랜스퍼 유닛을 포함한다.</p>
申请公布号 KR101553621(B1) 申请公布日期 2015.09.16
申请号 KR20130156119 申请日期 2013.12.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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