太阳电池的制造方法及经由制造方法所得太阳电池

摘要

本发明为一种太阳电池的制造方法，系具有下列步骤：准备含第二导电型掺杂之第二扩散剂及含第一导电型的掺杂之第一扩散剂的步骤，与将第一扩散剂涂布于第一导电型半导体基板之第二主面的步骤，与将第二扩散剂部分地涂布第一主面的步骤，藉由热处理经涂布第一扩散剂及第二扩散剂的半导体基板，形成高浓度第二扩散层、低浓度第二扩散层、及第一扩散层的步骤，以及于形成有扩散层的半导体基板使热氧化膜形成的步骤。;藉此，简化制造步骤，解除自动掺杂的问题，能提供制造电特性优异之太阳电池的制造方法。