| 摘要 |
基板对准装置(1)，具备：复数个旋转台(4)，将复数片基板水平且上下保持，且绕轴线旋转；旋转驱动装置(2)，使复数个旋转台(4)同步旋转；感测器(13)，检测分别保持于复数个旋转台(4)之基板之切口(90)；复数个支承爪(50)，支承旋转台(4)上之基板之周缘部；支承爪驱动构造体(70)，使复数个支承爪(50)在内方位置与外方位置之间个别地水平移动；以及升降装置(30)，使复数个支承爪驱动构造体在高位置与低位置之间升降。基板对准装置(1)根据以感测器(13)分别检测之切口(90)之位置使旋转驱动装置(2)、支承爪驱动构造体(70)、及升降装置(30)动作，藉此使复数个基板之切口(90)位于基准旋转角度位置。 |
