超音波检查装置及超音波检查方法

摘要

应用具备阵列型探测件之超音波检查装置，而将工件之沾水限定于大致检查面。超音波检查装置(100)，系具备：使检查面朝向下而保持工件(106)之工件保持件(105)；就工件(106)以超音波作探触之阵列型探测件(107)；将阵列型探测件(107)浸渍于水之水槽(109)；于工件(106)之检查面的下方将阵列型探测件(107)以相对的方式而保持之臂件(116)；及在因蓄于水槽(109)之水的表面张力使得液面接触于工件(106)之检查面的状态下，水平扫描工件(106)之X轴方向扫描手段(104A、104B)、及水平扫描阵列型探测件(107)之Y轴方向扫描手段(101)。