发明名称 |
基于薄板的化学浴沉积设备;WEB-BASED CHEMICAL BATH DEPOSITION APPARATUS |
摘要 |
本发明揭示的是用于处理薄板的方法和系统。薄板具有第一表面、相对于第一表面的第二表面、并且包括磁性材料。范例性系统包括处理床,其建构成当薄板的第一表面经历一或更多个处理步骤时支持薄板。本系统也包括相对于处理床而定位的磁铁,如此以施加磁力在薄板上而将薄板拉向处理床。本系统进一步包括运输带,其建构成使薄板在处理床上方移动。运输带具有第一接触表面和相对于第一接触表面的第二接触表面。第一接触表面建构成接触薄板的第二表面,并且第二接触表面建构成接触处理床。 |
申请公布号 |
TW201534755 |
申请公布日期 |
2015.09.16 |
申请号 |
TW103144682 |
申请日期 |
2014.12.19 |
申请人 |
努渥孙公司 NUVOSUN, INC. |
发明人 |
海曲曼 布鲁斯 HACHTMANN, BRUCE;克洛佛 普列斯顿 CLOVER, PRESTON;贺拉斯 丹尼斯 HOLLARS, DENNIS;渥尔 雅塞C WALL, ARTHUR C.;泰勒 洛基 TAYLOR, ROCKY;潘 刚 古伦特 PENG, GANG GRANT |
分类号 |
C23C16/509(2006.01);C23C16/54(2006.01);H01L31/0392(2006.01);H01L31/20(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/509(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
阎启泰林景郁 |
主权项 |
|
地址 |
美国 US |