| 摘要 |
<p>본 발명은 LED 제조공정에서 에피성장공정 전후에서 불량으로 판정된 에피웨이퍼에서 신속하고 경제적으로 패터닝된 사파이어 기판(PSS)을 재생하는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 (A) 에피웨이퍼를 글리콜과 40~55%(w/w) KOH 수용액이 1:0.5~2 부피비로 이루어진 액을 주성분으로 하는 제1식각액에 40~60℃의 조건에서 4~8시간 침지하는 단계; (B) 이어서 상기 에피웨이퍼를 40~55%(w/w) KOH 수용액을 주성분으로 하는 제2식각액에 50~70℃의 조건에서 2~4시간 침지하여 PSS(patterned sapphire substrate)를 얻는 단계; (C) 이어서 상기 PSS를 세정하는 단계;를 포함하는 에피웨이퍼에서 PSS를 재생하는 방법에 관한 것이다.</p> |
