| 摘要 |
<p>본 발명은 정밀한 미세 패턴 형성이 가능하고 공정 비용을 절감할 수 있는 미세 패턴 형성방법 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 미세 패턴 형성방법은 기판 상에 하부막을 형성하고, 상기 하부막 상에 패턴 물질을 형성하는 단계와, 특정 영역의 상기 패턴 물질에 레이저를 조사하여 제 1 제거 공정을 수행하는 단계 및 상기 제 1 제거 공정 수행 후 상기 특정 영역의 패턴 물질에 제 2 제거 공정을 수행하여 미세 패턴을 형성하는 것을 특징으로 한다.</p> |
