sistema e método de revestimento a vácuo e tratamento a plasma

摘要

sistema e método de revestimento a vácuo e tratamento a plasma. trata-se de um sistema de revestimento a vácuo e tratamento a plasma que inclui um cátodo magnétron com uma borda longa e uma borda curta. o polo magnético do magnétron resulta em uma barreira eletromagnética. pelo menos uma descarga por arco remoto é gerada separadamente do cátodo magnétron e em grande proximidade ao cátodo de modo que a mesma seja confinada em um volume adjacente ao alvo de magnétron. a descarga por arco remoto se estende paralelamente à borda longa do alvo de magnétron e é definida pela superfície do alvo em um lado e a barreira eletromagnética em todos os outros lados. existe uma capa de cátodo e capa de ânodo de descarga por arco remoto que se estendem sobre a descarga por arco e através da borda curta do cátodo magnétron. do lado de fora do conjunto de plasma fica um sistema magnético que cria linhas de campo magnético que se estendem para dentro e confinam o plasma na frente do substrato.