| 摘要 |
<p>본 발명의 과제는 멀티 모듈을 구성하는 모듈이 사용 불가 모듈로 되었을 때에 있어서, 기판의 반송을 빠르게 행하여, 제품 불량의 발생을 억제하는 것이다. 기판을 반송처 모듈로 반송하기 전에, 당해 반송처 모듈이 사용 불가로 되었을 때에는, 기판의 반송처를, 당해 기판의 다음의 기판이 반입되어야 할 모듈로 변경한다. 사용 불가 모듈이 발생했을 때에, 상기 반송 수단이, 예를 들어 반송 사이클의 상류 단부의 모듈에 대해 액세스하기 전일 때에는, 변경 후의 반송처 모듈 내에서 앞의 기판이 반출할 수 있는 상태로 될 때까지 반송 사이클을 진행시키도록 제어를 행한다. 또한, 사용 불가 모듈이 발생했을 때에, 상기 반송 수단이 반송 사이클에 있어서 상기 사용 불가 모듈보다도 상류측에 위치하고 있을 때에는, 변경 후의 반송처 모듈 내에서 앞의 기판이 반출할 수 있는 상태로 될 때까지, 반송 수단의 반송 동작을 대기하도록 제어를 행한다.</p> |
