MAGNETIC SENSOR TEST APPARATUS AND METHOD

摘要

본 발명은 자기 센서 테스트 장치에 관한 것으로, 자기 센서를 포함하는 웨이퍼(Wafer), 상기 자기 센서를 테스트하는 프로브 카드, 상기 프로브 카드에 배치되고 상기 웨이퍼에 수직 방향의 자기장을 형성하는 수직 코일 및 상기 프로브 카드에 배치되고 상기 수직 코일을 중심으로 대칭적으로 배치된 적어도 한 쌍의 주변부 코일을 포함한다. 따라서 반도체 웨이퍼 상에서 자기 센서를 효율적으로 테스트할 수 있다.