发明名称 MANUFACTURING APPARATUS FOR DEPOSITING A MATERIAL AND AN ELECTRODE FOR USE THEREIN
摘要 <p>캐리어 본체에 재료를 증착하기 위한 제조 장치와 이 제조 장치와 함께 사용을 위한 전극이 제공된다. 통상적으로, 캐리어 본체는 서로 이격된 제 1 단부와 제 2 단부를 갖는다. 소켓이 캐리어 본체의 단부의 각각에 배치된다. 제조 장치는 챔버를 한정하는 하우징을 포함한다. 적어도 하나의 전극이 소켓에 결합하기 위해 전극이 챔버 내에 적어도 부분적으로 배치된 상태로 하우징을 통해 배치된다. 전극은 소켓에 접촉하도록 구성된 접촉 영역을 갖는 외부 표면을 갖는다. 외부 코팅이 접촉 영역의 외부의 전극의 외부 표면에 배치된다. 외부 코팅은 적어도 9×10지멘스/미터의 전기 전도도 및 전해질로서 실온 해수에 기초하는 부식 전위열 내의 은보다 높은 내부식성을 갖는다.</p>
申请公布号 KR101552501(B1) 申请公布日期 2015.09.14
申请号 KR20107025442 申请日期 2009.04.13
申请人 发明人
分类号 C01B33/035;C23C16/44;H05B3/03 主分类号 C01B33/035
代理机构 代理人
主权项
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