活动遮蔽之闸阀

主权项

一种用于一制程腔室之闸阀，包含：一主体，具有一开口，该开口系设置成从该主体之一第一表面穿过该主体到该主体之一相对第二表面；一凹穴，从该开口之一侧壁延伸到该主体内；一闸，可移动地设置在该凹穴内，而介于一密封该开口的关闭位置与一显露该开口且将该闸完全地设置在该凹穴内的开启位置之间；一凹部，该凹部形成在该主体内且位在该开口附近；及一活动遮蔽件，该活动遮蔽件可以移动于一位在该凹部内而容许该闸自由地移动的第一位置与一在该闸处于该开启位置时密封该凹穴的第二位置之间。