| 主权项 |
一种半导体元件之监控方法，以监控欲在一反应室中进行处理且由一承载架所承载之复数个半导体元件的数量，该半导体元件之监控方法至少包括：提供一监控设备，其中该监控设备至少包括一电荷耦合元件、与一处理器与该电荷耦合元件电性连接，以接收该电荷耦合元件所发出之影像讯号；将该承载架载入该反应室前，利用该监控设备对该承载架所承载之该些半导体元件进行一第一监控步骤，以取得该些半导体元件之一第一数量储存于该处理器中；将该承载架从该反应室载出后，利用该监控设备对该承载架所承载之该些半导体元件进行一第二监控步骤，以取得该些半导体元件之一第二数量储存于该处理器中；进行一比对步骤，以比对该第一数量与该第二数量；以及当该比对步骤中所比对之该第一数量与该第二数量不同时，表示该些半导体元件之至少一者掉落于该反应室内，而将该些半导体元件之该至少一者自该反应室中移除。
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