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经营范围
发明名称
供影像与CAD对准使用之P型区域及N型区域差异化
摘要
申请公布号
TWI499924
申请公布日期
2015.09.11
申请号
TW102128516
申请日期
2013.08.08
申请人
DCG系统公司
发明人
杜雷克 简;卡尔达赫 凯萨琳
分类号
G06F17/50;H01L27/04
主分类号
G06F17/50
代理机构
代理人
徐宏昇 台北市中正区忠孝东路1段83号20楼之2;李纪颖 台北市中正区忠孝东路1段83号20楼之2;刘晏慈 台北市中正区忠孝东路1段83号20楼之2
主权项
一种用以将一半导体装置之影像,与该半导体装置之位元图〈bitmap〉代表影像,进行对准的方法,该方法包括:接收该半导体装置之至少一部份之扩散层资讯;接收该半导体装置之至少一部份之植入层资讯;从所接收之扩散层资讯及植入层资讯产生可区别的p型掺杂及n型掺杂区域资讯;产生该位元图代表影像,以包括该可区别的p型掺杂及n型掺杂区域间的差异;及执行将该半导体装置之影像,与该产生之位元图代表影像,进行对准之作业。
地址
美国
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