基板处理方法及基板处理装置

主权项

一种基板处理方法，系对矽基板施行处理者，其包括有：a)将矽基板一主面上的氧化矽膜予以除去的步骤；b)赋予矽烷化材料而对上述主面施行矽烷化处理，藉此使上述主面呈自然氧化膜成长被抑制之状态的步骤；以及c)在上述b)步骤后进行的步骤，且对上述主面形成矽锗膜的相关步骤。