微机电系统结构

主权项

一种微机电系统结构，包含：一第一基板结构包含一第一接合垫结构，且该第一接合垫结构具有至少一第一凹陷于其中；以及一第二基板结构接合至该第一基板结构的该第一接合垫结构，其中该第二基板结构包含一第二接合垫结构嵌置于一第二基板之凹槽中，以共熔接合至该第一基板结构之该第一接合垫结构；其中该第一接合垫结构之宽度小于该凹槽之宽度。