| 发明名称 |
光阻组成物 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI499581 |
申请公布日期 |
2015.09.11 |
| 申请号 |
TW100126149 |
申请日期 |
2011.07.25 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 |
发明人 |
市川幸司;畑光宏;安江崇裕 |
| 分类号 |
C07C63/70;G03F7/004;H01L21/027 |
主分类号 |
C07C63/70 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
一种光阻组成物，该组成物包括：树脂，该树脂包括衍生自具有酸不稳定基之化合物之结构单元且系不溶或难溶于硷性水溶液但在酸作用下转变成可溶于硷性水溶液者；酸产生剂；及式(I)表示之化合物：其中R1及R2在每次出现系独立为C1-C12烃基、C1-C6烷氧基、C2-C7醯基、C2-C7醯氧基、C2-C7烷氧羰基、硝基或卤素原子，及m与n各独立表示0至4的整数。 |
| 地址 |
日本 |
