| 主权项 |
一种基板制造装置，具有：载物台，系把将要形成薄膜之基板保持在保持面；喷嘴头，系相向于前述载物台，并从复数个喷嘴孔朝向保持于前述载物台之基板吐出薄膜材料的液滴；移动机构，系使前述载物台及前述喷嘴头的其中一方相对于另一方，朝向与前述保持面平行的扫描方向移动；及控制装置，控制前述移动机构；前述喷嘴头，系从前述控制装置，接收把前述喷嘴孔和与对应关连到该喷嘴孔的讯号波形的对应关系予以特定之吐出讯号的话，则把与对应关连到该喷嘴孔之讯号波形相对应之体积的薄膜材料的液滴，从被指定之前述喷嘴孔吐出，从而能够将在面内方向上膜厚发生变动之薄膜在1次扫描中形成。
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