| 主权项 |
一种晶圆用保持器，系由以下所构成：第1框体，系具有由第1外周嵌合部、及第1内周嵌合部所构成的第1嵌合部，且整体形成为具有中央开口部之环状通道体，其中该第1外周嵌合部形成为沿第1主面部之外周缘扩及全周竖立之一体的环状立壁，而该第1内周嵌合部形成为沿内周缘扩及全周与该第1外周嵌合部相对向竖立之一体的环状立壁；第2框体，系具有由第2外周嵌合部、及第2内周嵌合部所构成的第2嵌合部，且整体形成为具有中央开口部之环状通道体，其中该第2外周嵌合部形成为沿第2主面部之外周缘扩及全周竖立且设置成较该第1外周嵌合部之内径微幅小径之一体的环状立壁，而该第2内周嵌合部形成为沿内周缘扩及全周与该第2外周嵌合部相对向竖立且设置成较该第1内周嵌合部之内径微幅大径之一体的环状立壁；以及晶圆保持体，系贴附于该第1框体之该第1主面部或该第2框体之该第2主面部以封闭该开口部而构成晶圆收纳空间部，该第1框体与该第2框体系将该第2嵌合部嵌合于该第1嵌合部内，将该第2外周嵌合部之外侧面结合于该第1外周嵌合部之内侧面，且将该第2内周嵌合部之外侧面结合于该第1内周嵌合部之内侧面而一体化，以构
成具有内部空间部之环状框体。
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