叠层体及其制造方法

主权项

一种叠层体，包含：基材；及含矽膜，形成于该基材上；该叠层体之特征在于：该含矽膜包含矽原子与氮原子，或矽原子、氮原子与氧原子所构成之氮高浓度区域，该氮高浓度区域系在实质上不含氧或水蒸气之周围环境下，对形成于基材上之聚矽氮烷膜进行电浆照射或紫外线照射，使该膜至少一部分变性而形成。