一种制作电磁元件的方法

主权项

一种制作电磁元件的方法，包含有：提供一基板；于该基板上形成一第一图案化光阻层，该第一图案化光阻层包含一开口；将电镀铜填入该开口，形成一第一导线图案；去除该第一图案化光阻层；将一介电层覆盖于该第一导线图案上，该介电层具有一介层洞；于该介电层上电镀一铜层，使该铜层填满该介层洞；于该铜层上形成一第二图案化光阻层；以及蚀除未被该第二图案化光阻层覆盖的该铜层，如此形成一第二导线图案堆叠在该第一导线图案上，该第一导线图案与该第二导线图案共同构成一线圈单元的绕线；形成一成型体，包覆该线圈单元，其中该成型体包含一磁性材料；以及形成两电极，分别电耦合至该线圈单元的两端点。