| 主权项 |
一种工件设定装置，包含：一第一平台，系供一第一工件设定于其上；一第二平台，其可移向及移离该第一平台且相对于该第一平台而定位；一平台定位单元，其将该第一平台相对于该第二平台而移动及定位在与该第二平台移动方向垂直之方向中；一工件固持单元，其具有复数个工件固持器，各该工件固持器具有一圆筒形主体且备有一面向该第一平台之开孔，该等工件固持器使用真空吸力以固持一第二工件，及其移向及移离该第一平台且相对于该第一平台而定位；及一控制单元，其在该第二平台从该第一平台分离、该等工件固持器定位于该第一与该第二平台之间、该第一工件设定于该第一平台上、及该第二工件由该等工件固持器固持之状态时，系组态用于控制该第一平台、该第二平台、该工件固持单元、及该平台定位单元，以致使(a)将该等工件固持器移向该第一平台，使得由该等工件固持器固持之该第二工件之一未硬化薄膜材料进而与设定于该第一平台上之该第一工件接触且该第二工件设定于该第一工件上，(b)将该第二平台移向该第一平台，使得该第一与该第二工件压制于该第一与该第二平台之间，(c)在实施该第一与该第二工件之压制达到一预定时间后，将该第二平台从该第一平台移离，使得该第二平台
从该第二工件分离，及(d)将该平台定位单元驱动以轻微振动该第一平台上之该第一及该第二工件，及从该第一平台移离该等工件固持器，使得该等工件固持器从该第二工件移开。 |
