发明名称 于崩溃时具有减少漏电流之半导体装置及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI500158 申请公布日期 2015.09.11
申请号 TW102129598 申请日期 2013.08.19
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 陈建铨;李明东;黄胤富;连士进;吴锡垣
分类号 H01L29/78;H01L21/22 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼
主权项 一种半导体装置,包括:一基板;一井,位于该基板中;一p井植入,至少部分被该井界限在该基板之内;一导电层,配置在该基板上;一高电压n-(HVN-)掺杂井,被植入在该p井植入中,该HVN-掺杂井延伸进入伏在该导电层之一部分下面的该基板之一部分中;一高电压p掺杂(HVPD)井,被植入在该p井植入中,该HVPD井延伸进入伏在该导电层之另一部分下面的该基板之另一部分中,该HVPD井正好与该HVN-掺杂井相对;以及一汲极n-井,被植入在该HVN-掺杂井中。
地址 新竹县科学工业园区力行路16号