评估装置及评估方法

主权项

一种评估装置，其具备：照明部，系对具有经曝光装置之曝光而形成之既定反覆图案之基板表面照射偏光；测光件，抽出来自被照射该偏光之该基板表面之反射光中之既定振动方向之偏光成分；摄影部，系拍摄基于该测光件所抽出之该偏光成分之该基板的像；以及评估部，系根据以该摄影部拍摄之基于相异偏光成分之复数个该基板之影像，判别并评估曝光装置之曝光量与聚焦。