DRIVE LASER FOR EUV LIGHT SOURCE

摘要

오실레이터 캐비티 길이(L)를 구비하고, 오실레이터 경로를 형성하는 오실레이터; 및 오실레이터 경로를 포함하는 조합된 광학 캐비티를 구축하기 위해 상기 오실레이터와 결합되는 멀티패스 광학 증폭기;를 포함하고, 상기 조합된 광학 캐비티는 길이(L)를 가지고, 여기서 L=(N+x)*L, "N"은 정수, "x"는 0.4와 0.6 사이의 수인 디바이스가 본문에 기술된다.