| 主权项 |
一种生产系统，包括：一全域系统，包括复数的储料装置以及一全域运输系统，其中该全域运输系统连结该些储料装置；以及一区域系统，经由该全域运输系统连结至该全域系统，其中该区域系统包括：一第一缓冲区，设置于该全域系统和该区域系统之间的边界；复数个光刻设备，经由一区域运输系统连结该第一缓冲区；一主要通道，其中该主要通道之一第一端与该第一缓冲区连接：一第一轨道，连接该第一缓冲区和一第一群组光刻设备；一第二轨道，连接该第一缓冲区和一第二群组光刻设备，其中该第一群组光刻设备和该第二群组光刻设备分别位于该主要通道的相反侧；一第二缓冲区，与该主要通道之一第二端连接；一内部缓冲区，设置于该第一缓冲区和该第二缓冲区之间，其中该内部缓冲区为可调整的；一第一服务区，由该第一缓冲区延伸至该内部缓冲区；以及一第二服务区，由该内部缓冲区延伸至该第二缓冲区，当位于该第一服务区之一第一光罩欲运输至位于该第二服务区之一特定光刻设备，且该第二服务区处于闲置状态时，该内部缓冲区由一第一位置移动至一第二位置，使该特定
光刻设备位于该第一服务区内，当位于该第一服务区之该第一光罩欲运输至位于该第二服务区之该特定光刻设备，且位于该第二服务区之一第二光罩欲运输至该特定光刻设备时，该内部缓冲区停留于该第一位置。
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