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一种敏辐射线性树脂组成物，其特征为含有：[A]以下述式(1)表示之化合物，[B]具有酸解离性基之硷不溶性或硷难溶性之树脂，且在酸解离性基解离时成为硷可溶性之树脂，及[C]敏辐射线性酸产生剂，前述[B]树脂包含以下述式(2)表示之构造单位(I)及以下式表示之具有内酯骨架或环状碳酸酯骨架之构造单位(II)各自至少一种以上者，
(式(1)中，R为氢原子或碳数1~20之烃基，R1为碳数1~20之烃基，此烃基之骨架链中亦可具有酯键或醚键，但R1所示之烃基的氢原子之一部分或全部可经取代，R2~R5各自独立为碳数1~4之烷基或碳数4~20之脂环式烃基，但上述烷基或脂环式烃基的氢原子之一部份或全部可经取代，R6为卤素原子或碳数1~6之烃基，n为0~4之整数，但n为2~4时，复数的R6可相同亦可不同)构造单位(I)：(式(2)中，R7为氢原子或甲基，R8~R10各自独立为碳数1~4之烷基或碳数4~20之脂环式烃基，但R9与R10亦可相互键结与其所键结之碳原子一起形成碳数4~20之二价脂环式烃基)构造单位(II)： |
