| 主权项 |
一种下层膜材料，系使用于微影之光阻下层膜材料，其特征为：含有具选自于经取代或非经取代之苯酚酞、酚红、甲酚酞、甲酚红、百里酚酞中之1种以上之重复单元的酚醛清漆树脂；该重复单元以下列通式(1)表示；
式中，R1、R2为氢原子、酸不稳定基、环氧丙基、或碳数1~10之直链状、分支状或环状之烷基、醯基或烷氧基羰基；R3、R4、R6为氢原子、碳数1~10之直链状、分支状或环状之烷基、碳数2~10之烯基、或碳数6~10之芳基，也可以有羟基、烷氧基、醯氧基、醚基、或硫醚基，或为卤素原子、羟基、或碳数1~4之烷氧基；R5为氢原子、碳数1~6之直链状、分支状或环状之烷基、碳数2~10之直链状、分支状或环状之烯基、或碳数6~12之芳基，且也可以有羟基、烷氧基、醚基、硫醚基、羧基、烷氧基羰基、醯氧基、或-COOR或-OR基(R为内酯环、酸不稳定基或-R’-COOR”，R’为单键或伸烷基，R”代表酸不稳定基)；X为-C(=O)-或-S(=O)2-，m、n、p、q、r为1或2。 |
