模片之表面处理方法及装置以及图案形成方法

主权项

一种表面处理方法，其系于将胺管理至数ppb水准之环境下，对包含具有凹凸之图案面之模片表面进行处理者，且包括：对上述模片之表面进行氢氧化或者使水吸附于上述表面，而使上述表面分布OH基之步骤；以及于上述分布有OH基之模片表面结合偶合剂之步骤。