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<p>FIA 정반 (102) 의 하면측에 형성된 검출계 (AL2) 와 정반 사이에서 자기적 흡인력 및 기체의 정압을 발생시키는 것이 가능한 힘 발생 장치 (122a ∼ 122c, 124a ∼ 124c, 102) 에 의해, 검출계와 정반 사이에 소정의 클리어런스가 형성되고, 그 클리어런스가 형성된 상태 (부상 상태) 에서, 구동 장치 (102, 126) 에 의해, 검출계가 적어도 수평면 내의 일축 방향으로 구동된다. 이 때문에 검출계가 정반에 대해 비접촉인 상태이기 때문에, 검출계의 고정밀한 이동 (위치 결정) 이 가능해진다. 또, 힘 발생 장치가 발생하는 척력보다 인력쪽을 크게 설정함으로써, 검출계를, 고정밀도로 위치 결정된 상태에서 고정시키는 (착지시키는) 것도 가능하다.</p> |
